酶标仪滤光片镀膜流程蓝宝石玻璃(Al2O3)是一种单轴晶体，莫氏硬度为9硬度非常高硬度仅次于钻石，属于超硬材料。它具有优异的机械性能和非常宽的透光范围，透过区域从沈紫外到红外180nm~4500nm，但是遇到强紫外光时会产生荧光，因此多用于可见光以及红外波段使用。

滤光片基片用干净的布片和有机溶剂进行清洁处理。将镀膜机真空室内放气后，用吸尘器清理钟罩内部，在钼舟内填装待蒸发膜料，记录下各个舟的膜料名称。并在基片架上安放基片，勿使基片倾斜。落下钟罩，按镀膜机操作规程对真空室进行抽真空。当真空度达到3710Pa-´以后，依次对舟预熔，去除膜料中的气体。

此时，应注意用挡板挡住膜料，以保证预熔中基片不被镀上。当真空度达到要求后，采用/4l极值发控制光学厚度的方法进行镀制，可以选择前面给出的两种膜系中的任意一个膜系镀膜，将控制波长放在632.8nm或其他波长。首先在玻璃基片上镀制H层。随着膜层增厚，放大器指示的光电流将下降。当光电流数值刚刚开始回升时，立即将挡板挡上。然后，降电流换电极，镀L层。镀L层时，光电流随着膜厚增加而上升，达到极值时停止镀膜，重复以上步骤镀H层。当镀制光学厚度为/2l的间隔层时，厚度增加一倍 ，应在光电流上升再下降到极值时停止。以后几层同前几层一样控制，但变化规律相反。 镀膜结束后，依镀膜机操作规程停止加热和抽真空。半小时后，方可对镀膜机真空室充气，取出所镀制的干涉滤光片。然后按操作规程再对镀膜机抽真空，以保持清洁，最后停机。

对于多腔窄带滤光片，如果各个界面或者强堆之间的祝贺导纳失配，将会在通带产生波纹。滤光片的结构越复杂即层数增加或腔数增加，对于监控的精度要求来讲就越高。此时即使是监控稳定的膜系结构也是需要使用直接监控工艺的。然而适当的提高间隔层的干涉级别，会有利于提高波长定位的精度。